下载固化装置及固化方法的技术资料

文档序号:12785364

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本发明提供了一种固化装置及固化方法,该固化装置包括:腔室,用于盛放涂覆有聚酰亚胺PI胶的基板;抽气装置,用于对所述腔室抽真空;加热装置,用于在所述抽真空的过程中当所述腔室内达到第一预设压强时对所述基板进行第一加热以去除所述PI胶中的有机气体...
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