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本发明公开了一种模块化洁净室单元设备，涉及洁净室设备技术领域。该单元设备包括外箱体、过滤风机、过滤器和散流板；外箱体为上端封闭、下端开口的罩，散流板设于外箱体下端开口处；散流板的上方依次设有过滤器和过滤风机，散流板包括送风口和回风口；过滤风...
该专利属于中国电子系统工程第四建设有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子系统工程第四建设有限公司授权不得商用。

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