下载一种双轴向移动扫描机构的技术资料

文档序号:12766470

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本实用新型公开了一种双轴向移动扫描机构,包括紫外光探测器及其读出电路、转接板、Y轴向直线压电电机平移台和Z轴向直线压电电机平移台;所述紫外光探测器及其读出电路通过转接板固定在Y轴向直线压电电机平移台上;所述Y轴向直线压电电机平移台固定在Z轴...
该专利属于常州光电技术研究所;江苏中科院智能科学技术应用研究院所有,仅供学习研究参考,未经过常州光电技术研究所;江苏中科院智能科学技术应用研究院授权不得商用。

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