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一种化学气相沉积或外延层生长反应器，所述反应器内设置至少一基片托盘及其支撑轴，所述基片托盘包括一第一表面和一第二表面，所述基片托盘的第二表面设置有至少一个向内凹陷的凹进部；所述支撑轴包括：主轴部；与所述主轴部的一端相连接、并沿所述主轴部外围...
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