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本实用新型公开了一种硅片载具，包括：载具主体（1），用于承放硅片，所述载具主体一侧留有开口，用于将硅片放入所述载具主体内部。至少一个固定单元，所述固定单元设置在所述载具主体的开口侧，包括，V形槽固定条（2），所述V形槽固定条用于卡住硅片位于...
该专利属于乐山无线电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乐山无线电股份有限公司授权不得商用。

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