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一种液滴阵列产生器制造技术
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下载一种液滴阵列产生器的技术资料
文档序号:12748129
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本实用新型公开了一种液滴阵列产生器,包括转鼓、旋转驱动机构及外壳,其中,转鼓用于接收液料,旋转驱动机构带动转鼓转动,使液料成为一系列液滴,一系列液滴经过外壳后,产生高输出频率、高初速度、尺寸稳定的微米级液滴阵列,此液滴阵列能对极紫外光源系统...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。
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