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热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器技术
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文档序号:12734171
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本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料,由以通式:Mx(Al1-vSiv)y(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成,其中,M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种,0.0<v<0.3、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.45≤z...
该专利属于三菱综合材料株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱综合材料株式会社授权不得商用。
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