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提供在气态环境中激光加工光致抗蚀剂以改进抗蚀刻性和线-边缘粗糙度中至少一种的方法。所述方法包括按序引入第一和第二分子气体到光致抗蚀剂的表面，和针对每一分子气体，分别进行表面的第一和第二激光扫描。第一分子气体可以是选自三甲基铝、四氯化钛和二乙...
该专利属于超科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过超科技公司授权不得商用。

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