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本实用新型涉及一种高洁净度超高温水蒸汽反应炉装置，包括氩气瓶、石英水蒸汽发生器、石英管式炉、石英螺旋管、加热装置；在氩气瓶的出气管上安装有流量调节阀和压力阀，压力阀与第一流量计相连，第一流量计与三通管相连；三通管通过石英水蒸汽管与石英球头管...
该专利属于成都大学所有，仅供学习研究参考，未经过成都大学授权不得商用。

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