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本实用新型涉及化学机械抛光装置用承载头的隔膜，包括：底板，对晶片的板面进行施压；侧面，从底板的边缘向上侧折弯而成；以及固定片，包括多个垂直延伸部和水平延伸部，上述多个垂直延伸部在上述侧面和上述底板的中心之间以环形向上延伸而成，上述水平延伸部...
该专利属于K.C.科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过K.C.科技股份有限公司授权不得商用。

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