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本发明公开一种用于光刻设备的吸声装置，其特征在于，该吸声装置包括一弧形微穿孔板以及支撑该弧形微穿孔板的调节装置组成，该弧形微穿孔板上包括若干微穿孔，该调节装置与该微穿孔板球铰链连接；所述调节装置调节所述微穿孔板相对于被吸声器件的距离及角度。...
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