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一种制造半导体器件的方法，包括在反应器中形成III-N半导体层以及把烃前体注入反应器中，由此碳掺杂III-N半导体层并使III-N半导体层绝缘或半绝缘。一种半导体器件，包括衬底以及衬底上的碳掺杂绝缘或半绝缘III-N半导体层。III-N半导...
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