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一种超声波高精度直线位移装置，涉及一种精密机械平台装置，所述装置包括导轨、工作台、陶瓷耐磨涂层、底座、地脚、测距仪器、振子底座、螺栓预紧机构、自锁螺母、预紧机构底座固定螺母、振子底座固定螺母、直线微动滑台、振子；单边双足纵弯振子驱动工作台，...
该专利属于沈阳大学所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳大学授权不得商用。

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