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紫外探测器制造技术
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文档序号:12705540
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本发明提供了一种紫外探测器,包括SiC板;位于所述SiC板上的石墨烯层;以及位于所述石墨烯层上的第一电极和第二电极。本发明的紫外探测器能够实现对紫外光的超快探测,对紫外光探测的精度和灵敏度高,制造成本低。...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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