下载基板传送方法的技术资料

文档序号:12704750

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种基板传送方法,通过在链接信号中增加基板(30)的位置信息,每片基板(30)的位置信息用一个比特位表示,1代表有片,0代表无片,使得将基板(30)传送至下游机台(2)时,下游机台(2)接收所述基板(30)的位置信息以获得收片载...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。