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基于粘滑驱动的压力可控的大行程微定位平台制造技术
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下载基于粘滑驱动的压力可控的大行程微定位平台的技术资料
文档序号:12693692
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本发明公开了一种基于粘滑驱动的压力可控的大行程微定位平台,包括底座、滑动平台、微动柔性机构和压力施加机构;压力施加机构设置在运动平台和滑动平台之间,压力施加机构包括与运动平台固接的槽型框架,在槽型框架的顶部居中设有压力施加机构末端,压力施加...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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