下载磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却装置的技术资料

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提供了一种磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却装置,包括屏蔽板、铜编织带、冷却管、底架、及连接板,连接板通过螺钉将底架连接起来,冷却管通过螺栓固定至底架,冷却管固定有铜编织带,屏蔽板通过螺钉安装在冷却管上,铜编织带紧密压在屏蔽板和冷却管之间,由此,铜编...
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