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一种用于将特征的周期性图案印刷到光敏层中的方法，所述方法包括提供承载周期性图案的掩模，提供承载光敏层的衬底，大体平行于掩模布置衬底，形成准直单色光的射束以用于光照所述掩模图案使得由掩模透射的光场形成通过泰伯距离分离的泰伯图像平面，以及利用所...
该专利属于尤利塔股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过尤利塔股份公司授权不得商用。

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