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一种低能电子衍射(LEED)检测模块(100)，其包括：第一真空室，该第一真空室用于从样本(109)接收衍射电子；较大的第二真空室，该较大的第二真空室连接到第一真空室以接收已经通过第一真空室传输的衍射电子；二维电子检测器，该二维电子检测器设...
该专利属于学校法人冲绳科学技术大学院大学学园所有，仅供学习研究参考，未经过学校法人冲绳科学技术大学院大学学园授权不得商用。

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