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光照射装置制造方法及图纸
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文档序号:12664706
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本发明公开了一种在照射面上的规定照射位置上,照射在第1方向上延伸且在与第1方向正交的第2方向上具有规定线宽的线形光的光照射装置,其具备光学单元,该光学单元具有在基板上沿着第1方向延伸并隔着第1间隔排列,且在规定方向上使光轴的朝向一致配置的N...
该专利属于豪雅冠得股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过豪雅冠得股份有限公司授权不得商用。
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