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本发明属于半导体晶圆撕金去胶领域，具体地说是一种废液废固分离回收系统，包括废液罐、压力罐、冷却装置及制成品罐，废液罐的入口通过管路与撕金去胶机相连通，撕金去胶机产生的废液废固排入废液罐中；废液罐的出口通过管路依次与压力罐、冷却装置及制成品罐...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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