温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种TFT阵列基板及其制作方法，TFT阵列基板通过同一道光罩工艺将第一金属氧化物半导体层蚀刻成第一半导体图案及第二半导体图案后进行掺杂处理，以将第一半导体图案的两端分别处理成间隔设置的第一导体图案和第二导体图案且将第二半导体图案...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。