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本发明公开了一种手动的载片花篮装载机构，对于不要求高度自动化的设备，可极大降低生产成本。其技术方案为：装载机构包括上罩和固定的侧罩，上罩和侧罩通过设置在两侧的转轴连接，上罩可绕转轴旋转，从而达到打开和闭合装载机构的状态。...
该专利属于盛美半导体设备(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)有限公司授权不得商用。

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