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一种xyz自由度可调的精密平台机构，包括平台底板和微调平台，在所述平台底板上面靠近四个角位置处分别设置有一组可直线位移的直线滑轨，在所述直线滑轨上设置有滑块，在所述滑块上设置有轴承，所述滑块位移方向与所述直线滑轨位移方向相垂直；位于所述平台...
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