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本发明涉及一种供气装置，详细地涉及能够改善工艺腔室内的工艺气体的流动并能够提高沉积层的均匀度的供气装置，本发明提供的所述供气装置包括：引线，与气体管道相连接；第一板，用于使从所述引线流入的气体向工艺腔室排出；第二板，设置于所述引线和所述第一...
该专利属于周星工程股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过周星工程股份有限公司授权不得商用。

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