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一种利用石墨烯实现电子场发射装置的制备方法制造方法及图纸
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下载一种利用石墨烯实现电子场发射装置的制备方法的技术资料
文档序号:12626603
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本发明公开了一种利用石墨烯实现电子场发射装置的制备方法,包括以下步骤:(1)预处理:将硅片进行RCA清洗;2)制备硅尖:通过硅加工工艺形成硅尖,作为制备石墨烯尖端的模具;(3)化学镀镍:将硅尖置于表面活性剂中浸润,然后用化学镀镍的方法在硅尖...
该专利属于华东师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华东师范大学授权不得商用。
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