温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种多层石墨烯污点真空检测装置，包括：机架和设置在机架上的扫描机构、控制器、操作机构、拍照机构、图像处理器、密封罩、鼓风器、及抽真空器；利用激光被折射的原理对石墨烯上的污点进行检测，具有较高的准确性，采用聚合性更好的激光进行逐一扫...
该专利属于夏烬楚所有，仅供学习研究参考，未经过夏烬楚授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。