下载热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器的技术资料

文档序号:12621098

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本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料,由以通式:MxAly(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成,其中,M表示Fe、Co、Mn、Cu及Ni的至少一种,0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.45≤z≤0.55、0<w≤0.35、x+y+z=...
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