下载一种高介电系数复合氧化物电荷存储介质薄膜及应用的技术资料

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一种高介电系数复合氧化物电荷俘获介质薄膜,其化学组分是两种或两种以上高介电系数氧化物的混合物;复合氧化物薄膜呈非晶状态;复合氧化物薄膜的化学组分用化学式(AOm)x(BOn)1-x来表示,其中0.001≤x≤0.999,m、n由元素A、B的...
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