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本实用新型揭示了一种小型真空蒸镀仪，包括设备整体机架，蒸镀腔室，真空系统，冷却系统，所述蒸镀腔室包括底部的蒸发区，及设置于蒸发区正上方的待加工蒸镀区，所述蒸发区包括置于蒸镀腔室底板上的蒸发电极、相邻的蒸发电极之间的电极隔板、及设置于蒸发电极...
该专利属于苏州方昇光电装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州方昇光电装备技术有限公司授权不得商用。

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