下载一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺的技术资料

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本发明涉及微惯性导航技术领域,具体涉及一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺。所述微机械陀螺包括嵌放有永磁体的基板及置于基板上侧的陀螺敏感机构;所述陀螺敏感机构包括一降低驱动方向及检测方向信号耦合影响的分体式质量块结构;所述分体式质量...
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