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本发明提供一种激光直写式光刻机精确温度控制方法，包括如下步骤：采集曝光区域当前温度和水冷设备出水口当前温度；拟合出曝光区域温度变化曲线；计算水冷设备出水口理论目标温度；调整水冷设备出水口温度设定值；监视水冷设备出水口温度并拟合水冷设备出水口...
该专利属于合肥芯碁微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备有限公司授权不得商用。

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