下载用于MEMS图像传感器的新型伞式结构像元和像元阵列的技术资料

文档序号:12583170

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本发明提供一种用于MEMS图像传感器的新型伞式结构像元和像元阵列,所述像元包括制作有读出电路的衬底(110)、固定于衬底上并与读出电路电连接的微桥(120),所述微桥能够将电磁波辐射信号转换成电信号,还包括具有褶皱形貌的伞式电磁波吸收层(1...
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