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本发明提供一种用于MEMS图像传感器的新型伞式结构像元和像元阵列,所述像元包括制作有读出电路的衬底(110)、固定于衬底上并与读出电路电连接的微桥(120),所述微桥能够将电磁波辐射信号转换成电信号,还包括具有褶皱形貌的伞式电磁波吸收层(1...该专利属于合肥芯福传感器技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥芯福传感器技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种用于MEMS图像传感器的新型伞式结构像元和像元阵列,所述像元包括制作有读出电路的衬底(110)、固定于衬底上并与读出电路电连接的微桥(120),所述微桥能够将电磁波辐射信号转换成电信号,还包括具有褶皱形貌的伞式电磁波吸收层(1...