下载侧壁粗化的AlGaInP基LED及其制造方法的技术资料

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侧壁粗化的AlGaInP基LED及其制造方法,属于半导体技术领域。通过外延片上的金属键合层和永久衬底上的金属键合层,将外延片键合到永久衬底上,形成键合的半制品;再去除键合好的半制品上的临时衬底、缓冲层和截止层,露出欧姆接触层;并蚀刻图形化欧...
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