下载用于制造钛掺杂合成石英玻璃的方法的技术资料

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用于制造钛掺杂合成石英玻璃的已知方法,包括以下工序步骤:(A)提供液态SiO2原材料(105),其包含大于60重量%的聚烷基硅氧烷D4;(B)蒸发所述液态SiO2原材料(105),以产生气态SiO2原料气(107);(C)蒸发液态TiO2原...
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