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一种多光束激光共交扫描轮廓仪制造技术
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文档序号:12567793
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本发明公开了一种多光束激光共交扫描轮廓仪,旨在解决传统激光共焦扫描轮廓仪结构中工作距离和分辨率不能兼顾的问题。本发明采用多束独立激光共交于一点定位的原理,通过探测器捕捉交点位置实现被测对象逐点扫描。多光束布置结构可以有效地减少扫描盲区。本发...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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