温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种基板渗金属设备，包括：基座、上板、真空压力仓、滑盖驱动件、滑盖、盖板、真空阀、充气阀、驱动器、移动组件和模组套；上板设在基座上且设有容纳腔，容纳腔内设有坩埚和第一加热装置，坩埚的底壁设有开口；真空压力仓设在上板的下表面上...
该专利属于惠州比亚迪实业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过惠州比亚迪实业有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。