下载基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备的技术资料

文档序号:12558010

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本案涉及基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备,包括:送风单元,其包括多个纵置的风机过滤机组;第一回风单元,其设置在洁净室与送风单元的出风端相对的另一侧;第二回风单元,其设置在洁净室的顶部,包括多个第二排风机组;第三回风单元,其设置在洁净...
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