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本实用新型涉及一种化学气相沉积法制备石墨烯的高温炉设备，其中包括。采用该种结构的所述的设备包括：高温炉组件、可滑动导轨组件、真空混气组件，包括混气架、真空泵机组、混气元件，所述的真空泵机组与混气组件安装于混气架内，所述的高温炉组件在加热过程...
该专利属于上海钜晶精密仪器制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海钜晶精密仪器制造有限公司授权不得商用。

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