下载一种CO2射频激光器电极可调装置的技术资料

文档序号:12542897

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本发明公开了一种CO2射频激光器电极可调装置,包括真空腔体(1),真空腔体(1)内设置有上电极(3)、下电极(4),上电极(3)、下电极(4)之间通过匹配电感(5)连接,其特征在于:所述真空腔体(1)两侧对称固定设置有端盖(2),下电极(4...
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