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一种硅基毛细泵回路微型冷却器，其特征是它由一对半导体硅片和耐热硼硅酸玻璃片键合在一起而形成，其中在与硼硅酸玻璃接触的硅片（1）表面刻蚀有蒸发器（2）、冷凝器（3）、汽相通道（4）、液相通道（5）、储液腔（6）和硅片抽真空/注液通道（9），而...
该专利属于江苏中圣压力容器装备制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏中圣压力容器装备制造有限公司授权不得商用。

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