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调控SiC纳米阵列密度的方法技术
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文档序号:12489931
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本发明公开的调控SiC纳米阵列密度的方法,包括如下步骤,1)、前躯体准备;基体准备;2)、催化剂沉积:在准备好的基体表面沉积催化剂层;3)、将沉积有催化剂层的基体以及前躯体共同于烧结氛围中烧结,前躯体热解在基体表面形成SiC纳米阵列。本发明...
该专利属于宁波工程学院所有,仅供学习研究参考,未经过宁波工程学院授权不得商用。
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