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本发明提供一种清洗液供给装置及清洗液供给方法。装置包括：用于存放清洗液的水箱、输送管路、回收管路、质量检测器、水箱清洁器以及控制器；所述水箱的输出端通过输送管路与用于清洗基板的清洗室的输入端连接，从而通过该输送管路向清洗室输送清洗液；所述水...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司授权不得商用。