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加热器区块及利用所述加热器区块的基板热处理装置制造方法及图纸
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下载加热器区块及利用所述加热器区块的基板热处理装置的技术资料
文档序号:12474847
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本发明提供一种加热器区块及利用所述加热器区块的基板热处理装置。所述加热器区块包括加热灯,所述加热灯用以将热量传递至包括具有不同长度的短边与长边的矩形基板,所述加热灯包括多个灯泡。所述灯泡被排列成使平行于所述矩形基板的短边安置的所述灯泡的数目...
该专利属于AP系统股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过AP系统股份有限公司授权不得商用。
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