下载泡生法单晶炉的钨盘结构的技术资料

文档序号:12472072

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本实用新型提供了一种泡生法单晶炉的钨盘结构。它包括钨盘及在钨盘边缘设置的凸起结构,凸起结构的内径稍大于坩埚外壁直径,凸起结构与钨盘表面之间设置有圆角R,与坩埚底部呈圆弧形接触,钨盘下部设置有用于固定钨盘与支柱相对位置相配合的凹槽,钨盘中心设...
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