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一种半导体单晶硅片酸腐蚀驱动装置，适用于硅抛光片表面机械损伤层酸腐蚀处理。本实用新型驱动装置（11）通过卡槽（5）与浸泡在酸腐蚀槽中的活动提篮（17）连接固定，动力系统由直流电机（1）、联轴节（2）、小轴承（3）、小齿轮（4）、齿形带（7）...
该专利属于麦斯克电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯克电子材料有限公司授权不得商用。

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