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提出了一种用于在图案化结构上进行光学测量的方法和系统。该方法包括利用测量点在结构上进行大量的光学测量，该测量点被配置为提供从至少部分覆盖该结构的至少两个不同区域的照明点反射的光的检测。测量包括从至少两个不同区域的所述至少部分反射的光的检测，...
该专利属于诺威量测设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺威量测设备股份有限公司授权不得商用。

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