下载一种光功率分束器的技术资料

文档序号:12461314

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本发明公开了一种光功率分束器,包括衬底以及在衬底上自下而上依次排列的包层、下导波层和上导波层;上导波层为图形层,沿水平面上向右方向依次刻蚀有输入波导、准直透镜、光束整形透镜组、相移光栅、傅里叶变换透镜、第一相位补偿结构、直流分量相移器、第二...
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