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玻璃基板烘烤装置制造方法及图纸
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文档序号:12461307
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本发明提供一种玻璃基板烘烤装置,用于对基板进行烘烤,所述烘烤装置包括本体、供气组件、与供气组件相对设置的排气组件以及第一保温层,所述本体设有腔体、顶盖及与顶盖连接的周侧板,所述周侧板上设有入口与入口相对的出口,所述供气组件与排气组件设于所述...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。
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