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本发明公开了一种基板对位检测校准装置和方法，该装置包括：设置在基板载台上的对位单元、控制装置和基板位置检测单元；所述多个对位单元和所述基板位置检测单元分别与所述控制装置通信连接；所述基板位置检测单元扫描基板边缘，检测基板边缘到基板载台边缘的...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司授权不得商用。